富乐德申请复合涂层相关专利, 提升等离子刻蚀部件耐蚀性与寿命

7月25日消息，国家知识产权局信息显示，安徽富乐德科技发展股份有限公司申请一项名为“一种等离子刻蚀设备用氧化铝氧化钇复合涂层制备方法”的专利。申请公布号为CN122446304A，申请号为CN202610762699.8，申请公布日期为2026年7月24日，申请日期为2026年5月29日减仓技巧，发明人王圣福、张继月，专利代理机构铜陵市天成专利事务所（普通合伙），专利代理师李坤，分类号C25D11/10、C25D11/08、C25D11/16、C25D11/24、C23G1/22、H01J37/32。

专利摘要显示，本发明公开了一种等离子刻蚀设备用氧化铝氧化钇复合涂层制备方法，包括以下步骤：对铝合金部件基体依次进行脱脂处理、碱蚀处理和中和处理；然后采用直流脉冲电源进行硬质阳极氧化处理，在基体表面形成多孔氧化铝膜层；接着将部件浸入硝酸钇封孔剂中进行封孔处理，再加入草酸进行复合封孔处理，使氧化铝膜层孔隙中生成氧化钇颗粒；最后进行干燥处理得到氧化铝氧化钇复合涂层。通过采用上述技术方案，本申请制备的复合涂层结合强度可达15至25兆帕，耐含氟、氯等离子体腐蚀性能显著提升，腐蚀速率仅为阳极氧化铝涂层的十分之一至二十分之一，使用寿命可提高10至20倍，同时制备工艺操作简便、设备投资成本低，适合大规模产业化应用。

富乐德是国内泛半导体洗净领域领先企业，核心提供泛半导体设备洗净服务，具备全产业链配套的差异化竞争优势。公司成立于2017年12月26日，于2022年12月30日在深圳证券交易所上市，注册及办公地点均位于安徽省。

富乐德主营业务为泛半导体领域设备洗净及衍生增值服务，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，同时覆盖半导体材料、OLED、功率半导体三大概念板块。

2025年，富乐德实现营业收入28.67亿元，在26家同行业企业中排名第9，低于行业平均数40.12亿元，较行业中位数13.86亿元表现突出，同期行业营收前两位分别为北方华创393.53亿元、中微公司123.85亿元；主营业务构成中，DCB业务收入10.23亿元占比35.70%，AMB业务7.4亿元占比25.81%，精密洗净业务6.92亿元占比24.14%，其他业务1.39亿元占比4.83%，维修翻新业务1.02亿元占比3.54%，DPC业务9676.31万元占比3.38%，增值服务7467.23万元占比2.60%。同期公司实现净利润4.46亿元，行业排名第10/总家数26，低于行业平均数5.9亿元，大幅高于行业中位数1.62亿元，行业净利润前两位分别为北方华创54.09亿元、中微公司20.64亿元。

指标类别

具体指标

富乐德当期数值

行业排名

行业头部企业数值

行业平均

行业中位数

营收表现

2025年营业收入

28.67亿元

北方华创393.53亿元、中微公司123.85亿元

元股证券:ygzq.hk

40.12亿元

13.86亿元

利润表现

2025年净利润

4.46亿元

北方华创54.09亿元、中微公司20.64亿元

5.9亿元

1.62亿元

营收构成

DCB业务

10.23亿元，占比35.70%

营收构成

AMB业务

7.4亿元，占比25.81%

营收构成

精密洗净业务

6.92亿元，占比24.14%

营收构成

其他业务

1.39亿元，占比4.83%

营收构成

维修翻新业务

1.02亿元，占比3.54%

营收构成

DPC业务

9676.31万元，占比3.38%

营收构成

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增值服务

7467.23万元，占比2.60%

安徽富乐德科技发展股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种等离子刻蚀设备用氧化铝氧化钇复合涂层制备方法发明专利公布CN202610762699.82026-05-29CN122446304A2026-07-24王圣福、张继月2一种用于泛半导体设备腔体的钛铝复合熔射层制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610292829.62026-03-11CN122235624A2026-06-19李帅雨3一种高耐蚀耐磨氧化钇复合涂层的喷涂工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202610270892.X2026-03-06CN122279454A2026-06-26王克、李冲4高耐蚀氧化钇涂层的等离子喷涂工艺及梯度结构设计方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511691778.62025-11-18CN121472758A2026-02-06李冲、贺贤汉、张继月5一种高效均匀型TiN膜层清洗工艺和装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511478808.52025-10-16CN121295197A2026-01-09李帅雨6纳米氧化铝涂层部件的干冰喷砂-化学溶解-超声协同清洗工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202511471985.02025-10-15CN121017162A2025-11-28谈政、郝齐齐、张继月7大气等离子喷涂制备氟化钇复合陶瓷涂层的方法及应用发明专利实质审查的生效、公布CN202511390049.72025-09-26CN121204597A2025-12-26李冲、贺贤汉、张继月8无氢氟酸/强碱硅涂层微孔污染物清除方法及环保清洗剂发明专利实质审查的生效、公布CN202511390047.82025-09-26CN121294080A2026-01-09郝齐齐、张继月9一种AL熔射涂层的无尘清洗工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202511208127.72025-08-27CN120790597A2025-10-17刘宇航10一种基于增压装置改善小粒径喷涂粉末流动性的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511061585.22025-07-29CN121362933A2026-01-20李冲、贺贤汉11一种无尘熔射表面处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511010692.22025-07-22CN120866762A2025-10-31周龙梅、贺贤汉12半导体激光清洗工艺中光强动态均衡控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510769449.22025-06-10CN120637209A2025-09-12周欢、贺贤汉、张继月、周伯成、阮安俊13一种致密氧化钇涂层的喷涂工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202510719597.32025-05-30CN120505582A2025-08-19李冲、贺贤汉、张继月14一种半导体部件DOME翻新工艺方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510719608.82025-05-30CN120535206A2025-08-26王春雨、贺贤汉、张继月15一种结合超声波与化学试剂的铝基半导体清洗方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510691264.42025-05-27CN120551124A2025-08-29郝齐齐、贺贤汉、张继月、黄景、阮安俊16一种紫外光刻设备透镜支架组件的表面处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510270033.62025-03-07CN120099606A2025-06-06王圣福、贺贤汉、张继月17一种石英部件清洗设备发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202411738370.52024-11-29CN119259561A2025-01-07周伯成、贺贤汉、张继月、周欢、阮安俊18一种半导体部件打磨装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411703736.52024-11-26CN119304761A2025-01-14郝齐齐、贺贤汉、张继月19一种半导体不锈钢TTN膜的清洗装置及工艺发明专利授权CN202411682224.52024-11-22CN119216288B2026-03-24李帅雨、贺贤汉、张继月20一种复合陶瓷涂层制备设备发明专利授权CN202411510880.72024-10-28CN119123777B2025-12-09李庞、贺贤汉、张继月、阮安俊21一种带有复杂的空腔结构的showerhead的清洗工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202411351094.72024-09-26CN118988887A2024-11-22郝齐齐、贺贤汉、阮安俊、张继月22一种等离子喷涂设备用喷涂YSZ涂层的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411342408.72024-09-25CN119243076A2025-01-03王克、贺贤汉、张继月23一种半导体用高纯石英部件表面清理石墨治具及使用方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411342412.32024-09-25CN119426277A2025-02-14周伯成、贺贤汉、张继月、周龙梅、汪康24一种石墨激光清洗治具实用新型授权CN202422109599.42024-08-29CN223083447U2025-07-11周伯成、贺贤汉、张继月、周欢25一种具有在线监测功能的熔射设备发明专利授权CN202411166752.52024-08-23CN119040788B2025-11-28韦新宇、贺贤汉、张继月26一种对泛半导体零部件熔射时的监测固定装置发明专利授权CN202411143742.X2024-08-20CN118996316B2026-02-03程皇飞、贺贤汉、张继月27一种石英炉管修复工艺发明专利公布CN202411031564.12024-07-30CN118878194A2024-11-01王春雨、贺贤汉、张继月28一种高温去除OLED蒸镀设备有机膜的高温烘烤装置发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202410858027.82024-06-28CN118639185A2024-09-13刘宇航、贺贤汉、张继月29一种耐等离子腐蚀的Y2O3复合陶瓷涂层及其制备工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202410654236.02024-05-24CN118563241A2024-08-30石勇、贺贤汉、张继月30一种化学气相沉积设备用阳极氧化的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410561938.42024-05-08CN118441334A2024-08-06王圣福、贺贤汉、张继月31火加工翅片腔体修复装置发明专利实质审查的生效、公布CN202311624741.22023-11-30CN117444045A2024-01-26王春雨、贺贤汉、张继月、阮安俊32TaN演膜清洗装器发明专利实质审查的生效、公布CN202311624743.12023-11-30CN117600162A2024-02-27李帅雨、贺贤汉、张继月、阮安俊33DIFF硅部件多晶硅膜质清洗器发明专利实质审查的生效、公布CN202311624746.52023-11-30CN117637589A2024-03-01郝齐齐、贺贤汉、张继月、阮安俊34银色残膜清洗工艺装备发明专利实质审查的生效、公布CN202311624738.02023-11-30CN117656305A2024-03-08周龙梅、贺贤汉、张继月、阮安俊35一种半导体硅部件粗表面清洗装置和方法发明专利发明专利申请公布后的视为撤回、实质审查的生效、公布CN202311262332.22023-09-27CN117299692A2023-12-29阮安俊、贺贤汉、张继月、郝齐齐36一种OLED电极板自动清洗设备发明专利发明专利申请公布后的视为撤回、实质审查的生效、公布CN202310951598.12023-07-31CN117139241A2023-12-01阮安俊、贺贤汉、张继月37一种硅部件清洗用固定框实用新型授权CN202322034684.42023-07-31CN220553428U2024-03-01阮安俊、贺贤汉、张继月38一种Faceplate部件清洗装置及清洗药水配方发明专利授权、公布CN202310633952.62023-05-31CN117181694B2025-11-04阮安俊、贺贤汉、张继月、高敏刚39一种等离子刻蚀设备熔射部件的清洗方法发明专利实质审查的生效、公布CN202310623981.42023-05-30CN116631838A2023-08-22王圣福、贺贤汉、张继月、黄景40一种含氟耐腐蚀涂层的制备工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202310623986.72023-05-30CN116641014A2023-08-25何伟、贺贤汉、张继月41一种粗糙度测量平台工装实用新型授权CN202320689811.12023-03-31CN219757294U2023-09-26周毅、贺贤汉42一种复合陶瓷涂层制备方法及喷涂加工装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202310338014.32023-03-31CN116288129B2024-08-13阮安俊、贺贤汉、王烁43一种烧结陶瓷表面修补工艺及烘干设备发明专利授权CN202310338015.82023-03-31CN117447239B2025-11-18王烁、贺贤汉、阮安俊44一种复合陶瓷涂层喷涂加工装置发明专利授权CN202410595703.72023-03-31CN118291975B2025-11-28阮安俊、贺贤汉、王烁45高反射率陶瓷涂层的制备工艺发明专利发明专利申请公布后的视为撤回、实质审查的生效、公布CN202211516997.72022-11-30CN115786841A2023-03-14阮安俊、贺贤汉、王烁46一种快速退火炉内壁陶瓷涂层的制备方法发明专利发明专利申请公布后的视为撤回、实质审查的生效、公布CN202211444295.22022-11-18CN115678428A2023-02-03阮安俊、贺贤汉、王烁47一种OLED蒸镀工艺OpenMask部件清洗设备发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202211147758.92022-09-19CN115537830B2024-03-26王圣福、贺贤汉、张正伟、李帅雨、刘宇航48一种OpenMask清洗装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202211128247.22022-09-16CN115463888B2023-07-04王圣福、贺贤汉、张正伟、周毅、阮安俊49一种OLED掩膜版OpenMask表面清洗装置实用新型授权CN202222295993.22022-08-31CN217911924U2022-11-29王圣福、贺贤汉、张正伟、李帅雨、束磊50一种OLED掩膜版OpenMask转运装置实用新型授权CN202222295994.72022-08-31CN218021675U2022-12-13王圣福、贺贤汉、张正伟、李帅雨、刘宇航减仓技巧

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