7月29日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“化学机械抛光方法和装置”的专利。申请公布号为CN122463037A，申请号为CN202610592537.4，申请公布日期为2026年7月28日，申请日期为2024年12月19日，发明人路新春、赵德文、邓雯心、靳富，分类号B24B37/04、B24B37/10、B24B37/005、B24B37/34、B24B55/00、B24B1/00、G06F17/11。
专利摘要显示，本申请实施例提供了一种用于晶圆加工的化学机械抛光方法和装置。化学机械抛光方法包括：获取化学机械抛光装置的抛光头各区域的历史抛光压力；根据获取的所述历史抛光压力确定各所述区域的预测去除率；至少一个区域的预测去除率是根据该区域及该区域以外的至少一个其他区域的历史抛光压力而确定的；根据各区域的预测去除率、历史抛光压力和目标去除量确定当前抛光所需的抛光时间和各区域的预测抛光压力。本申请实施例在确定某个区域的预测去除率时，不仅考虑该区域自身的历史抛光压力，还考虑其他区域的历史抛光压力，可以更准确地预测每个区域的预测去除率，使晶圆的实际去除量与目标去除量之间的偏差显著减小，减少局部过抛或欠抛的现象。
华海清科是国内CMP设备龙头企业，核心从事化学机械抛光设备研发制造，拥有全产业链布局的差异化竞争优势。公司成立于2013年4月10日，2022年6月8日于上海证券交易所上市，注册及办公地址均位于天津市。
华海清科主营业务为从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，同时覆盖中芯国际概念、HBM概念、高校系三大概念板块。
2025年，华海清科实现营业收入46.48亿元，在26家同行业可比公司中排名第7，高于40.12亿元的行业平均数与13.86亿元的行业中位数，同期行业营收前两位分别为北方华创的393.53亿元、中微公司的123.85亿元；公司营收结构中，半导体装备业务收入40.54亿元，占比87.22%，半导体服务业务收入5.94亿元，占比12.78%。同期公司实现净利润10.83亿元，行业排名第5，显著高于5.9亿元的行业平均数与1.62亿元的行业中位数，行业净利润前两位分别为北方华创的54.09亿元、中微公司的20.64亿元。
指标类别
具体指标
数值/详情
元股证券:ygzq.hk营收表现
2025年营业收入
46.48亿元
营收表现
行业排名/总样本数
营收表现
行业第一名营收
393.53亿元（北方华创）
营收表现
行业第二名营收
123.85亿元（中微公司）
营收表现
行业平均营收
40.12亿元
营收表现
炒股杠杆公司行业中位数营收
13.86亿元
营收结构
半导体装备业务收入及占比
40.54亿元，87.22%
营收结构
半导体服务业务收入及占比
5.94亿元，12.78%
净利润表现
2025年净利润
10.83亿元
净利润表现
行业排名/总样本数
净利润表现
行业第一名净利润
54.09亿元（北方华创）
净利润表现
行业第二名净利润
20.64亿元（中微公司）
净利润表现
行业平均净利润
5.9亿元
净利润表现
行业中位数净利润
1.62亿元
华海清科股份有限公司近期专利情况如下：
序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种用于化学机械抛光的修整装置和修整方法发明专利公布CN202610903952.72026-06-23CN122463047A2026-07-28鲁泽坤、陈映松、王春龙、崔云鑫、曹自立2一种抛光垫更换系统和方法发明专利公布CN202610768024.42026-05-30CN122442511A2026-07-24王科、陈映松、王怀锋、李长坤、成鹏3一种晶圆抛光方法、抛光单元和抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610705158.12026-05-21CN122248984A2026-06-19田云、辜声攀、杜新祥、马海港4一种用于化学机械抛光的承载头和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610668707.22026-05-15CN122353463A2026-07-10程子政、孟松林、金军5一种晶圆后处理装置和处理方法发明专利公布CN202610622639.62026-05-08CN122476855A2026-07-28路新春、马钰皓、王剑、李长坤、刘远航6一种抛光带与晶圆缺口相对位置的检测装置和检测方法发明专利公布CN202610546525.82026-04-23CN122099962A2026-05-29周朝龙、辛宇航、郭垒、杨志冰7晶圆翻转装置、晶圆翻转方法及晶圆处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610432475.02026-04-03CN121969113A2026-05-01南奇童、张龙华、张鑫、申兵兵8抛光液分布预测方法、化学机械抛光方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610366890.02026-03-24CN122033825A2026-05-15张力飞、王同庆、赵南皓9晶圆加工系统、终点检测装置、方法及电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610348698.92026-03-20CN122253080A2026-06-23王同庆、王科、窦华成、田芳馨10晶圆清洗装置及晶圆清洗方法发明专利授权CN202610230602.92026-02-27CN121752004B2026-05-15王同庆、陈贺、刘颖、曹自立、李长坤11化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610211064.92026-02-13CN122077513A2026-05-26路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆12晶圆化学机械抛光设备及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610203298.92026-02-12CN121870631A2026-04-17路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆、赵德文13化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610204916.12026-02-12CN121946355A2026-05-01路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆14化学机械抛光设备、晶圆加工方法和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610198479.72026-02-11CN121893158A2026-04-21路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆15晶圆处理装置、控制方法及化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610198513.02026-02-11CN122077512A2026-05-26路新春、李长坤、王科、李俊卿、王同庆16一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610188222.32026-02-10CN121893155A2026-04-21刘晟桤、李俊卿、李长坤、王科17晶圆化学机械抛光设备及基于晶圆状态的动态密封方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610188204.52026-02-10CN122058269A2026-05-19张海鹏、曹冠宁、范少文、王科、孙传恽、李长坤18一种化学机械抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610182595.X2026-02-09CN121893154A2026-04-21霍恩彬、李长坤、李俊卿、申兵兵、王剑19一种具有小体积气液分离箱的晶圆处理设备及晶圆处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610049289.92026-01-15CN121513539A2026-02-13陈贺、姚福聪、曹自立、李长坤20抛光方法、电子设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610009656.22026-01-06CN121608055A2026-03-06王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科21抛光装置和晶圆加工设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610009659.62026-01-06CN121848277A2026-04-14路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤22晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511925734.52025-12-19CN121729009A2026-03-24路新春、王同庆、赵德文、刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成23晶圆边缘动态修整方法和晶圆修边装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511925732.62025-12-19CN121848541A2026-04-14赵德文、高亚磊、李森、刘远航、欧阳亮24晶圆修边装置、晶圆加工设备及加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511923156.12025-12-19CN121925066A2026-04-24刘远航、请求不公布姓名、鲍伟成、赵德文、路新春25晶圆边缘修整方法、边缘修整装置和加工设备发明专利公布CN202511830466.92025-12-06CN121649858A2026-03-13欧阳亮、高亚磊、王玉、檀广节26一种用于化学机械抛光的承载头和抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830467.32025-12-06CN121715974A2026-03-24王宇、刘宏伟、孟松林、金军、张洪蛟27一种晶圆处理设备、空气洁净度控制方法和空气清洁系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511830465.42025-12-06CN121756222A2026-03-31王同庆、孙传恽、张丛28一种用于电化学机械抛光的承载头和抛光装置发明专利公布CN202511789495.52025-12-01CN121821233A2026-04-10刘二朋、王浩、王国栋、许振杰29一种修整盘装卸装置、智能维护系统和方法发明专利发明专利申请公布后的视为撤回、公布CN202511718719.32025-11-21CN121670521A2026-03-17王科、李丹、陈映松、王怀锋、成鹏30一种晶圆抛光方法、抛光单元和处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511696760.52025-11-19CN121447528A2026-02-03路新春、江鹏、周斌、谭锐31一种化学机械抛光装置、抛光设备和抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511680481.X2025-11-17CN121608057A2026-03-06曹自立、李长坤32一种晶圆后处理装置、抛光设备和抛光方法发明专利公布CN202511680510.22025-11-17CN121693049A2026-03-17曹自立、李长坤33晶圆划切设备、晶圆加工方法及控制装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511649635.92025-11-12CN121340478A2026-01-16刘远航、鲍伟成、朱林、赵德文、路新春34一种弹性膜、承载头、化学机械抛光设备和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511629574.X2025-11-08CN121179339A2025-12-23王宇、张浩、左少杰、金军、张洪蛟35一种晶圆膜厚测量方法、装置和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511553470.52025-10-29CN121104883A2025-12-12窦华成、田芳馨、王科36抛光装置和晶圆加工设备发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556082.22025-10-29CN121132497A2025-12-16路新春、吴兴、王同庆、李俊卿、李长坤37抛光方法、电子设备及存储介质发明专利发明专利申请公布后的撤回、实质审查的生效、公布CN202511556080.32025-10-29CN121132496A2025-12-16王同庆、吴兴、李长坤、李俊卿、王科38一种方形承载头和化学机械抛光系统发明专利授权CN202511524648.32025-10-24CN121004541B2026-02-06程子政、孟松林、金军39一种晶圆清洗装置、清洗方法和处理设备发明专利公布CN202511361499.32025-09-23CN121018398A2025-11-28张丰达、王剑、李长坤40一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270350.42025-09-08CN120862556A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟41一种用于化学机械抛光的承载头及抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511270348.72025-09-08CN120862555A2025-10-31刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟42一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头发明专利公布CN202511270349.12025-09-08CN120985523A2025-11-21刘鑫博、李润豪、金军、张洪蛟43晶圆刷洗方法、装置、电子设备和计算机存储介质发明专利公布CN202511127407.52025-08-13CN120977917A2025-11-18路新春、李长坤、曹自立、王科44竖直抛光装置及竖直抛光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511039838.62025-07-28CN120680396A2025-09-23辛宇航、郭垒、周朝龙45一种晶圆夹持装置、处理装置和化学机械抛光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511021830.72025-07-24CN120734904A2025-10-03陈贺、曹自立、李灯、李长坤46一种用于晶圆贴膜的移动装置和晶圆贴膜设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511001321.82025-07-21CN121969092A2026-05-01李森、刘志动、付永旭、刘远航、赵德文47一种抛光液供应装置、化学机械抛光单元和晶圆处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510962318.62025-07-14CN120791640A2025-10-17谭锐、孙少雪、徐海洋、王科48卷带替换方法、卷带装置、晶圆边缘抛光方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510964002.02025-07-14CN120841269A2025-10-28田鑫涛、周朝龙、张子彤、辛宇航、郭垒49用于电涡流传感器的大量程标定方法、测量方法及设备发明专利公布CN202510925240.02025-07-05CN120962533A2025-11-18王超、路新春、田芳馨50一种晶圆传输装置和化学机械抛光系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510914634.62025-07-03CN120715804A2025-09-30路新春、李长坤、王剑、李俊卿、王科股票走势
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